成都滲源科技助力晟光硅研半導(dǎo)體SYZ-V-20L超純水系統(tǒng)成功投運(yùn)

近日，成都滲源科技有限公司為西安晟光硅研半導(dǎo)體科技有限公司完成SYZ-V-20L實(shí)驗(yàn)室超純水系統(tǒng)的安裝調(diào)試，為這家專業(yè)半導(dǎo)體企業(yè)提供了符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的超純水解決方案。

晟光硅研在半導(dǎo)體晶圓制備、器件封裝等關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)對超純水質(zhì)量要求極為嚴(yán)苛。針對半導(dǎo)體行業(yè)對TOC、顆粒物和金屬離子的特殊控制要求，滲源科技專業(yè)設(shè)計(jì)的SYZ-V-20L系統(tǒng)采用"雙級反滲透+紫外+終端微濾"純化工藝，產(chǎn)水電阻率穩(wěn)定達(dá)到18.25MΩ·cm（25℃），TOC含量≤10ppb，顆粒物≤1個/mL，完全滿足半導(dǎo)體精密制程的用水需求。

滲源科技工程師團(tuán)隊(duì)根據(jù)半導(dǎo)體潔凈車間要求，優(yōu)化了設(shè)備安裝方案，并對操作人員進(jìn)行了專業(yè)培訓(xùn)。此次合作彰顯了滲源科技在半導(dǎo)體水處理領(lǐng)域的技術(shù)實(shí)力，公司將持續(xù)為行業(yè)提供更專業(yè)的超純水解決方案，助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。