近日，成都滲源科技有限公司為中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所成功安裝SYSL-II-200L實(shí)驗(yàn)室超純水系統(tǒng)，為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體研究機(jī)構(gòu)提供專(zhuān)業(yè)的水質(zhì)保障。

中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所在半導(dǎo)體材料制備、器件工藝研究等前沿科研領(lǐng)域?qū)Τ兯|(zhì)量要求極為嚴(yán)苛。針對(duì)半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)對(duì)顆粒物特殊要求，滲源科技設(shè)計(jì)的SYSL-II-200L系統(tǒng)采用"預(yù)處理+雙級(jí)反滲透+純化罐+精密過(guò)濾器"工藝，產(chǎn)水電阻率穩(wěn)定達(dá)到18.2MΩ·cm（25℃）（在線監(jiān)測(cè)），微生物≤1cfu/ml，顆粒物≤1個(gè)/mL，完全滿足半導(dǎo)體材料制備、器件工藝研究等精密實(shí)驗(yàn)的用水需求。

該系統(tǒng)配備200L大容量?jī)?chǔ)水箱，最大限度降低污染風(fēng)險(xiǎn)。智能控制系統(tǒng)可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)關(guān)鍵水質(zhì)指標(biāo)，確保每一滴超純水都符合標(biāo)準(zhǔn)。滲源工程師團(tuán)隊(duì)根據(jù)半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室特殊環(huán)境要求，優(yōu)化了系統(tǒng)運(yùn)行參數(shù)，并對(duì)科研人員進(jìn)行了專(zhuān)業(yè)培訓(xùn)。

此次合作彰顯了滲源科技在半導(dǎo)體科研領(lǐng)域的技術(shù)實(shí)力。公司將持續(xù)為科研機(jī)構(gòu)提供更專(zhuān)業(yè)、更可靠的超純水解決方案，助力中國(guó)半導(dǎo)體科研事業(yè)發(fā)展。